单晶炉,长晶炉,多晶硅炉,半封闭母线槽,插接式母线槽,水冷空调、制冷设备,冷凝器、电容柜,电线电缆,配电箱、电梯、空压机、高压关、互感器、UBS电瓶、电动机、压缩机、机械设备、厨房设备、酒店设备、公设备、电抗器、稳压器、高压柜、低压柜、启动柜,发电机组, 生产线,活动房,配电柜,收购器,冷凝器,叉车, 行车,厂区行车,集装箱等等
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以人工方式在单晶炉前将固态多晶硅料一块块地从炉体外转移到石英坩埚内,再进行合炉,真空检漏[1]。整个过程非常缓慢,而且装料过程中要避免硅料碎屑落入热场内。传统装料方法为炉前装料离线装料技术在直拉法硅单晶生产中的应用\引言直拉法(CZ)生产单晶硅是目前单晶硅的主要方法。在单晶生产过程中装料时间(清炉结束到合炉)约为2h追求低成本和率成为每一个企业市场的逐胜之道。其中具有较强的实用性和经济推广价值。1离线装料的工作原理使用一个真空吸盘和一个特制的密封圈与装满多晶硅原生料的石英坩埚密封。新型热屏不仅起到导流筒的作用,了氩气流场,使单晶氧含量下降,而且热屏解决了大直径单晶生长中结晶潜热难以散发的问题,提高了拉晶速率,降低了生产成本。分子泵,真空泵,真空流量计,plc编程,控制屏,离子泵,涡轮分子泵,螺杆真空泵,涡旋高真空泵,B,如何弄清展图中的部分采用方框画法设备与外部其他部分的连接?先查清方框画法设备的端子编号,然后利用能展示该设备内部接线图的装置说明书或厂家图,在这些图纸中找到往外部连接的端子编号,再与内部回路连接起来,然后通过往外的连接的端子再与外部回路起来。
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